Определение содержания химических элементов в образцах производится рентгенофлуоресцентным методом, в основе которого лежит зависимость плотности потока характеристического излучения элементов от их концентрации.
Характеристическое излучение анализируемых элементов возбуждается тормозным излучением рентгеновской трубки, входящей в состав малогабаритного рентгеновского аппарата, и регистрируется полупроводниковым кремниевым pin–детектором.
Кванты характеристического излучения различных элементов вызывают в детекторе импульсы тока с амплитудой, пропорциональной их энергии.
Усиленные предусилителем блока детектирования, импульсы тока поступают в блок обработки и накопления спектрометрической информации, где обрабатываются, преобразуются в цифровую форму и далее поступают в персональный компьютер, накапливаются и обрабатываются специальным программным обеспечением.